首台国产光刻机正式投入使用
光刻机作为芯片制作过程中的重要设备,其高端的核心技术目前基本上都被荷兰ASML一家给垄断,日本的尼康,佳能也只是勉强生产中端的DUV光刻机。
一直以来对中谨言慎行的ASML也罕见发声:“美国主导的针对中国的半导体出口管制措施,Zui终会促使中国在高端芯片制造设备领域成功研发出自己的技术,这需要时间,但Zui终他们会实现目标。”
近日,guoneishichang传出了两条重磅消息,无疑是成功的证明了中国光刻机自研量产的可行性。
首先,由上海微电子自主研发的首台金凸块封测光刻机(SMEE)正式交付,采购方是深圳同兴达科技公司。该公司成立于2021年12月,主营半导体芯片先进封装测试相关之生产、销售及服务,是同兴达集团Zui年轻的子公司。
此次搬入仪式中的SMEE光刻机是昆山首台金凸块封测光刻机,具有较强延展性,可实现与先进制程芯片相似功能,对缩短国内与国外产品代差具有重要意义。
据了解,昆山同兴达将于今年3月完成设备调试及开始样品试制,规划于今年5月完成量产1000片/月,明年8月将完成一期满产(2W片/月)。
光刻机不是只有制造芯片一种,除了按光源先进程度分为EUV、DUV、UV以外,按用途还可分为制造芯片用的前道光刻机和封测用的后道光刻机。
我国在封测领域目前处于quanqiulingxian水平,上海微电子在封测光刻机领域的市场份额已经达到80%左右,在全球市场也能占到40%。去年,上海微电子就已经推出了首台2.5D / 3D先进的封装光刻机。
国产接近式光刻机已投入市场
步进式光刻机已启动用户优化
这个消息是从大族激光传来的,这家企业于1996年成立于深圳,是国家重点高新技术企业,主营方向是激光加工的解决方案及相关的配套设施。
这里有两个新名词:接近式光刻机和步进式光刻机,下面给大家简单介绍一下:
先说接近式光刻机,它是一种特殊的光刻机,它使用接近光学系统来制作图案。
它的优点很多,可以概括为“三高”,即高精度、高速度、高效率。一般用于制造微纳米级的半导体器件、生物医学微器件等。
再看步进式光刻机,它是Zui早的光刻机之一,早在上世纪60年代就开始应用于半导体制造了。它通过使用光学系统,能在基材上制作出很多份相同的图案。
它的优点是“两高”——高速度、高效率,是制造大批量半导体芯片等产品的理想工具,是光刻技术bukehuoque的组成部分,在半导体制造、微纳米加工、生物医学等领域多有应用。
对于现阶段的国产半导体而言,这些光刻机的落地有着重大意义,无论是5G基站的分立器件领域,或者LED等智能电子领域,guoneishichang都基本搭建出了完善的设备、材料和技术产业体系,为国产半导体产业发展奠定了坚实的基础。
不可否认,国产光刻机的整体水平与ASML的设备相比还有着较大差距,但正所谓“不积跬步无以至千里”,如今国内光刻市场已填补空白,迈出了关键性的一步,相信在不久的将来,后续的技术设备将得到强化。
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